Hoge vacuüm plasma sputtercoatingApparaturur: KernApparatUur Die metallisatie van dpc -keramisch substraat Mogelijk mAAKT

De halfgeleider -keramische substraatoatApparaturur namt het Principe van Hoogvacuüm -Sputtering van Elektisch Veld Aan, injecteert Deze Hoog-Energy Argonionen Zullen Worden Versneld en het Het Doelmaterialal in een richende bombarderen, Zodat de atomen op het oppervlak van het Doelmateriaal Words "en geliJkmatig Koper-metaalcomposietlaag Word gevormd Met een dichte structuur en sterke adhesie.
Halfgeleider keramische substraatcoatingapparaturur is een belangrijke pre-link in de DPC-Keramische substraatwerkingstechnologie, Die een solide Basis Legt voor Laaropvolgende ProductieProductie, Grafische overdracht en functie Integratie. Deur de afzetting Met metalen laag met metalen laag, bereikt het de Keramische substraat nonchiat niet ale Uitstlende geleidBaarBaarBaarheid, maart heeft het ook een sterkene thermische stabilite stabilite en mechanisch sterkte, waardoor voldoet aan ean -vereist aan ean -vereist aan vereist aan vereist aan vereist aan ean -vereisten ZOALS 5G-Communicatie, Automobielelektonica en Stroommodules voor substraatprestaties.
Tijdens het afzettingsproces van metaallaag zullen zullen alle onzuiverheden de structurele stabiliteit, elektische Eigenschappen en hechting van de afgezette laag Ernstig beïnvloeden. LAAROM IS DEZE APPARATUUR UITGERUST MET EEN HOOG vacuümverpakkingkamersysteem en kan de vacuümdiploma een niveau van 10⁻⁵ pa bereiken. Door de koppeling van de zeer efficiënte moleculaire pomp en mechanische pomp voor uitlaat, wordt de afdichtingsstructuur met meerdere lagen, gaslekkage voorkomen, is de binnenwand van de kamer gepolijst en worden adsorptie-residuen verminderd, zodat de zuiverheid van de AfzettingomGEVEVING EN GEEN OXIDATIERACTIE VAN DE BRON WORDT VERBETER SUBSTRATEN BOOR OPVALLEDENDE APPARATE MET Extrem Hoge Vereisten voor Zuiverheid en consistentie.
Deze apparaat Hanterter een precisie-Gecontroleerd plasma-ionenbronSysteem, dat automatisch kan AanPassen Aan Verschillende Doelmaterialen, Doeldikte, substraatvorm en positie. Deze zeer controleerbare ionenbronstructuur kan een meer uniforme sputterverdeling van metaalatomen bereiken, waardoor de dikte-uniformiteit en oppervlakte-consistentiefout van de metaalcomposietlaag op het oppervlak van het gehele keramische substraat minder dan ± 3%is, wat vooral Geschikt is voor de Stabiele Productie Van Grote van Specialal Gevormde Ceramische substraten.
Om te voldoen aan de verwerkingsbehoeften van Klanten voor Keramische substraten van verschillende specificaties, neemt halfgeleider keramische substaatcoatingappAratUraturatuur een modulair structuurontwerp aan, dat de substraatarmaturuur flexiBel chan vervangen, en de expansie-invansie binnen een dubbele station van parallelle lay-out met meerdere standspelen.
Het besturingssysteem kan een vercheidenhouid Aan ProcesParameters presenteren en snel van productbatches wisselen. Dze structuur verbetert Niet -alleen de flexibiliteit van het Gebruik van apparaat, maar maar vermindert ook de aanPassingstiJd en handmatige interventiekosten Bijet het Wisselen Van van ProductModellen AanzienliJk. Het is Zeer Geschikt voor Productie van OEM, WetenSschAppelijk ONDERZoek en de Compatibele Massaproductie en Parallelle Productieomgevaven.
Semiconductor Ceramic Substraat Coating Equipment Apparatuur PoDingssysteem Hanteert Een Zeer Efficiët Schakelvoedingsvoeding Energiebesparende controle -Logica, en Het Energieverbruik Word Verminderd Met 15% -30% Vergelen Met Traditionel ionplating ionplating. TegelijkertiJd heeft het automatisch start-stop- en stand-by-optimalisatieMechanisme, automatische stroomaanpassing na stabilisatie van de procestabilisatie en vermindert het overmatig energieverbruik. Multi-Cavity Koppeling Optionele Configuratie Kan 24-Uurs Ononderbroken doorgaan Productie Bereiken. Het is vooral Geschikt voor Klanten van Keramische Substraatmassaproductie Die Gevoelig Zijn Zijn voor het EnergieverbruiK van Eenheid en een Hoge Vereisten Hebben Hebben Voorse Voorse Voorse Voorse Voorse Voor Fabrikanten van Stroommodule.